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来源:ml体育官网 发布时间:2026-07-10 15:38:28
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国家知识产权局信息数据显现,FEI公司请求一项名为“电子显微镜成像体系及成像办法”的专利,公开号CN122117733A,请求日期为2025年11月。
专利摘要显现,电子显微镜成像体系及成像办法。本发明供给了用于电子显微镜成像的体系和办法,包含使用带电粒子显微镜对样品进行成像的办法,该办法有:使用带电粒子显微镜收集样品外表的榜首初始图画;在带电粒子显微镜成像过程中,接纳用于一个或多个初始感兴趣区域的主动功用指令;在带电粒子显微镜成像过程中,收集样品后续外表的系列后续图画。其间,关于每个后续图画,收集所述后续图画包含曝光所述样品的相应后续外表;辨认与一个或多个初始感兴趣区域相对应的一个或多个感兴趣区域;对相应的后续标明上进行成像,其间对相应的后续标明上进行成像包含:根据与一个或多个初始感兴趣区域相对应的至少一个已辨认感兴趣区域,使用一个或多个主动功用。
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